国内首台叠舟PECVD设备发货：反应室空间利用率提升至50% 12月18日消息，据报道，中电科电子装备集团下属红太阳光电公司自主研制的国内首台叠舟PECVD设备，近日成功发货。在光伏电池的生产流程中，PECVD镀膜技术扮...
